クリーンルーム テクニカルリンクス
ところが、クリーンルームは半導体、医薬製造など様々な業界に多岐にわたって使用されているので、それぞれの業界によって少しづつ内容の違う規格が存在しています。 ここではそんなクリーンルームの規格についてのページを集めました。 ページの内容によって「詳細」と「入門」に分けました。必要に応じて使い分けてください。 |
クリーンルーム テクニカルリンクス
ところが、クリーンルームは半導体、医薬製造など様々な業界に多岐にわたって使用されているので、それぞれの業界によって少しづつ内容の違う規格が存在しています。 ここではそんなクリーンルームの規格についてのページを集めました。 ページの内容によって「詳細」と「入門」に分けました。必要に応じて使い分けてください。 |
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空気清浄の森 | 清浄度の規格 | 詳細 |
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リオン株式会社 | 空気清浄度 | |
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| ※注記 ２００１年１１月２９日を持って、Ｕ．Ｓ Ｆｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９Ｅ規格が廃止されました。本件は米国ＩＥＳＴ事務局より下記のように正式に通知されています。 今後の清浄度規格は、ＩＳＯ規格を使用することとなります。ただし社会的にＩＳＯ規格よりクラス１００という呼び方が一般的であり、ＩＳＯ規格との併用は避けられないと思います。 |
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＜ＩＳＯ規格要約＞ Ｆｅｄ．Ｓｔｄ．２０９ＥはＩＳＯ規格に取って代わるため、廃止された。ＩＳＯ規格は”クリーンルーム”と付帯する制御環境”を規定した次の二つから成る。 １） ＩＳＯ １４６４４−１ Ｐａｒｔ １：Classification of air cleanliness「空気清浄度のクラス分け」 ２） ＩＳＯ １４６４４−２ Ｐａｒｔ ２：Specifications for testing and monitoring 「試験及びモニター手法」 なお、規格は、ＩＥＳＴから購入可能です。━━━ 「空気清浄の森」より |
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